全国首台！国产化台阶仪在松山湖成功研制

　　近日，松山湖材料实验室精密仪器研发团队成功自研台阶仪，实现了国产化台阶仪零的突破，加速国产替代。

　　在松山湖材料实验室精密仪器研发团队实验室里，一台如打印机大小的仪器，放置在桌子上，它的名字叫台阶仪，工程师们用它对材料样品进行微米级的精密测量。

　　台阶仪，又名探针式表面轮廓仪，用于样品表面从微米到纳米尺度的轮廓测量，是微电子、半导体、医疗、科学研究和材料科学等领域不可缺少的关键测量设备。

　　长期以来，此类仪器被美国和日本厂商垄断，国内尚无厂商可提供同类产品。

　　2020年，松山湖材料实验室精密仪器研发团队对台阶仪研发项目发起挑战，2022年6月，正式机台投入使用。

　　“台阶仪研发拥有‘四个超’——超精细的运动控制，超精密位移传感，超低噪声信号采集以及超高平整度零部件。这四个关键技术，实现了台阶仪的整机开发。”松山湖材料实验室精密仪器研发团队负责人许智表示，该仪器从应用场景层面看，可以替代进口。

　　对比同类进口设备，这台国产化台阶仪可为企业降低近四成成本。接下来，松山湖材料实验室精密仪器研发团队将继续迭代，开发出更加贴合企业的台阶仪。

　　松山湖材料实验室精密仪器研发团队负责人许智表示，国产化台阶仪平均售价是进口产品的大概六到七成，可以降低用户的采购成本。未来，团队还将推出更经济的型号，预计售价为进口产品的一半左右。